雜志簡介：《微納電子技術》雜志經(jīng)新聞出版總署批準，自1964年創(chuàng)刊，國內(nèi)刊號為13-1314/TN，是一本綜合性較強的科技期刊。該刊是一份月刊，致力于發(fā)表科技領域的高質(zhì)量原創(chuàng)研究成果、綜述及快報。主要欄目：技術論壇、材料與結構、MEMS與傳感器、加工、測量與設備
《微納電子技術》經(jīng)新聞出版總署批準，自1964年創(chuàng)刊，國內(nèi)刊號為13-1314/TN，本刊積極探索、勇于創(chuàng)新，欄目設置及內(nèi)容節(jié)奏經(jīng)過編排與改進，受到越來越多的讀者喜愛。
《微納電子技術》致力于推動我國微米納米技術的發(fā)展，大量報道了我國納米電子學的基礎性研究和MEMS領域的開發(fā)與應用，為全國從事微納電子技術研究的人員搭建了一個良好的技術、信息交流平臺，對我國納米技術研究人員所做的早期研究工作和取得的成果做出了真實的、歷史性的描述。
《微納電子技術》雜志學者發(fā)表主要的研究主題主要有以下內(nèi)容：
（一）化學機械拋光；CMP；拋光液；去除速率；ULSI
（二）CMP；阻擋層；拋光液；堿性拋光液；化學機械拋光
（三）MEMS；微電子機械系統(tǒng)；微機械；硅；傳感器
（四）無線無源；MEMS；壓力傳感器；傳感器；高溫壓力傳感器
（五）共振隧穿二極管；RTD；負阻器件；共振隧穿器件；負阻
（六）單電子晶體管；量子元胞自動機；QCA；積分器；磁體
（七）矢量水聽器；MEMS；加速度計；電容式；微機械
（八）GAN；高電子遷移率晶體管；MEMS；HEMT；MMIC
（九）MEMS；風速風向傳感器；微電子機械系統(tǒng)；無源無線；微機電系統(tǒng)
（十）光刻機；工件臺；光刻；掩模；生物芯片
1、基金項目：所涉及的課題請在文中注明，如“基金項目：××基金資助項目 （注明基金編號）”，并附基金證書復印件（掃描件）。
2、正文內(nèi)容要求論點明確，資料可靠，文字精煉，層次清楚，數(shù)據(jù)準確，具有學術性、創(chuàng)新性和實踐性。
3、稿件中的注釋請以腳注形式在當頁頁腳標出。引用報刊資料，請注明作者姓名、文章標題、刊名、刊期；引用書籍資料，請注明作者姓名、書名、出版社、出版時間和頁碼；引用互聯(lián)網(wǎng)資料，請注明作者姓名、文獻名、網(wǎng)址和時間。
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5、題目內(nèi)不應列入非公知公用的符號、代號以及數(shù)學公式等。
立即指數(shù)：立即指數(shù) (Immediacy Index)是指用某一年中發(fā)表的文章在當年被引用次數(shù)除以同年發(fā)表文章的總數(shù)得到的指數(shù)；該指數(shù)用來評價哪些科技期刊發(fā)表了大量熱點文章，進而能夠衡量該期刊中發(fā)表的研究成果是否緊跟研究前沿的步伐。
引證文獻：又稱來源文獻，是指引用了某篇文章的文獻，是對本文研究工作的繼續(xù)、應用、發(fā)展或評價。這種引用關系表明了研究的去向，經(jīng)過驗證，引證文獻數(shù)等于該文獻的被引次數(shù)。引證文獻是學術論著撰寫中不可或缺的組成部分，也是衡量學術著述影響大小的重要因素。
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